amjs澳金沙门(中国)有限公司

当时MEMS的出产工艺确有与COMS工艺交融的趋势，但不必定什么工艺都能够和COMS工艺交融在一起，要完结规范化出产必定有所献身，如在工艺多样性上做一些退让。

　　当时，MEMS在出产工艺方面有进一步与COMS工艺交融，以推进MEMS传感器规范工艺树立的趋势。相对来说，MEMS工艺规范化的树立仍是比拟艰难的。打一个比方，COMS好比是做一个人类的脑细胞，它的出产工艺仅触及电学功用，是比拟简单完结规范化的；而MEMS传感器好比是做人的各种感觉器官，需求丈量的物理量多得多，声、光、电、触觉、压力、温度等各种物理量都会触及，不相同传感器的制作办法各不相同，所以出产工艺完结规范化要艰难得多。

　　规范化出产是趋势8英寸线是干流

　　当然，当时MEMS的出产工艺确有与COMS工艺交融的趋势，但不必定什么工艺都能够和COMS工艺交融在一起，一些大批量运用的器材，工艺规范化是一个趋势，也有此必要。在不断优化出产工艺，完结规范化后，能够到达大批量出产，下降出产成本，优化产物功用的意图，比方红外传感器。可是，要想完结规范化出产必定会有所献身，比方为了完结兼容，必定会在工艺的多样性上做出一些退让。如今整个MEMS制作还处于早期分步优化的期间，温度传感器、陀螺仪等商场要点运用的传感器，还没有完结与COMS工艺的交融，往后跟着工艺技能的进步，不扫除与COMS工艺进一步交融。

　　从配套环节来看，与COMS工艺进一步交融，完结规范化，需求产业链的支撑。最重要的是需求FAB厂、封装厂，供给规范工艺渠道。别的，测验工艺渠道也很重要，MEMS需求丈量的物理量许多，需求进行很多测验。为进一步下降产物成本，如今越来越多的MEMS传感器在8英寸出产线上出产加工，猜测往后几年大批量的产物根本都会在8英寸线上出产，否则将失掉价钱竞争力。将来能否会上12英寸线比拟难说，当时还用不到，可是跟着局势的开展，上到12英寸线也非不可能。正如几年前业界普遍以为不需求用到8英寸线，而如今产业界都接受了8英寸线相同。

长时间看好Fabless Fablite中期存在

　　谈到MEMS的出产，出产制作的商业形式十分重要，当时职业界IDM形式和Fablite形式、Fabless形式并存。从长时间来看，我以为Fabless形式将成为干流，但从中期来看，必定会有Fablite这个期间存在。因为，当时处于职业开展的早期期间，产业链还在构成，并不是一切产物的一切出产过程都会得到产业链的撑持。有些作业产业链处理不了，只能由公司本人处理，比方测验，微细加工等。别的，大批量产物能够外包；关于一些小批量多种类的产物，外包很艰难，也要由公司本人完结。至于IDM形式，中国当时还没有公司在做，一起我以为IDM形式也不是一个持久的趋势。

　　从MEMS产物的技能趋势来看，无论是汽车仍是消耗电子终端中运用的传感器，都需求在MCU的操控之下精准作业，为了使客户能够更快、更快捷地完结系统开发，一些厂商也供给领先的模块化开发渠道即MCU+传感器，这是一种开展趋势。组合传感器是另一个开展趋势。将来将把越来越多的加速度计、陀螺仪、磁力传感器等组合起来，完结杂乱的功用，功用类似于人类的小脑。第三个趋势是MEMS产物将在尺度、功耗等方面继续改善。因为组合传感器的开发，能够使得电路模块完结复用；此外，3D封装、SIP封装等高功用封装技能的运用将逐步遍及，这样，MEMS的尺度就会越做越小，功耗越来越低。